标签：精密控制技术

半导体制造已进入纳米级竞赛，其核心突破在于高端装备中实现的原子级操作精度。纳米级精密控制技术如同精密钟表的心脏，直接决定了芯片性能与良率。本文将解析该技术三大核心环节及其对电容器、传感器等基础元件的严苛需求。 一、 纳米级运动控制的实现基础...